Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2016" (ICMNE-2016), включающая расширенную сессию "Квантовая информатика" (QI-2016), будет проводиться 3-7 октября 2016 в д/о "Ершово", Звенигород, Московская область, Россия. Она продолжает серию Всероссийских конференций "МНЕ-1999", "МНЕ-2001", "КИ-2002" и международных конференций "ICMNE-2003", "QI-2004", "ICMNE-2005", "QI-2005", "ICMNE-2007", "QI-2007", "ICMNE-2009", "QI-2009", "ICMNE-2012", "QI-2012", "ICMNE-2014" и "QI-2014".

   Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей физики микро- и наноразмерных приборов, а также микро- и наноэлектронных технологий. ICMNE-2016 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет работать выставка, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектронных применений.

Рабочий язык конференции ICMNE-2016 - английский.

Тематика:

Материалы и пленки для микро- и наноэлектронных структур:

• Si, SOI, DOI, SiGe, A³B⁵, A²B⁶
• High-k диэлектрики, low-k диэлектрики
• Металлы для затворов, контактов и систем металлизации наноразмерных приборов
• Магнитные материалы, наномагнетики
• 1D и 2D материалы
• Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы

Физика микро- и наноразмерных приборов:

• Тенденции масштабирования: More Moore, beyond CMOS, and more than Moore trends
• Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные и другие
• Интегральные устройства памяти, DRAM, ReRAM, FeRAM
• Магнитные микро- и наноструктуры, приборы спинтроники
• Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
• Приборы оптоэлектроники, фотоники
• Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
• Моделирование

Технологии и перспективное технологическое оборудование для производства приборов микро- и наноэлектроники:

• Суб-65 нм литография: DUV, иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
• Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
• Технологии получения 2D материалов (графен, MoS₂, WS₂ и другие)
• Технологии создания МЭМС и НЭМС
• Технологии создания сверхпроводящих приборов

Метрология:

• In situ методы мониторинга технологических процессов
• Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур

Квантовая информатика:

• Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
• Квантовые измерения
• Квантовые алгоритмы
• Квантовая связь

   Оргкомитет ICMNE-2016 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программа конференции будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.

   Одностраничные тезисы докладов должны содержать оригинальные научные результаты и быть представлены на английском языке. Для представления устных докладов будет предоставлено оборудование для компьютерных презентаций (мультимедийный проектор, компьютер; презентация должна быть выполнена в Microsoft PowerPoint). Во избежание проблем с несовместимостью различных версий предпочтительно использовать презентацию в формате PDF. Иллюстративный материал и сам доклад должны быть представлены на английском языке.

   Размер стенда для стендового доклада: 120 см х 120 см. Язык представления постеров - английский.